典型的工作環境中, 每立方英尺空氣中含有500000 個粒子, 而半導體生產的***新要求是每立方英尺空氣中只有1 個粒子。因此, 工作間需要用經過高效空氣過濾器過濾的潔凈空氣不斷地循環清洗。為保持高效空氣凈化器過濾器的潔凈和壽命, 還需要幾段效率較低的預濾器聯合使用。   

 

工業用潔凈室要求連續有效地去除粒徑更小的粒子。高效管路過濾器一度是效率過濾器, 現在超低空氣泄漏過濾器則是效率過濾器, 以后更高效率的新一代過濾器也將得以開發應用。微細玻璃纖維過濾介質是過濾器介質的主要選擇, 但膜和靜電增強介質已向該領域滲透, 并獲得部分應用。   

 

客戶對過濾器的性能要求及使用壽命要求越來越高  

 

在我們選擇過濾器時，通?？紤]是過濾器的過濾精度，而實際上在選擇過濾器的過濾效率和濾材的使用壽命也相當重要。目前，國際上通常采用過濾器的β值來表示過濾器的過濾效率。所謂β值是指過濾器進口處流體中大于某一尺寸的顆粒數與過濾器出口處流體中大于某一尺寸的顆粒數之比。因此β值越大，則該過濾器的過濾效率也越高。